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產品名稱:安捷倫二手ICP-ms

產品型號:7500CX

更新時間:2020-04-12

產品特點:安捷倫二手ICP-ms無機元素和同位素分析技術,可快速同時檢測周期表上幾乎所有元素。ICP-MS技術在分析能力上,超過傳統的無機分析技術如電感耦合等離子體光譜技術(ICPAES)、石墨爐原子吸收(GFAAS)和汞冷原子吸收技術(CVAAS)的總和。

產品詳細資料:

安捷倫二手ICP-ms:分析特點

 

可快速同時檢測周期表上幾乎所有元素

 

低檢出限(低至ppq級)

 

分析效益/成本比

 

線性動態范圍寬—可直接檢測從ppq到數百ppm濃度

 

譜線簡單、干擾小,準確度和精密度好

 

需要樣品量很低(ul至ml),分析速度很快(1——3分鐘/樣品)

 

檢測模式靈活多樣

 

半導體工業常用材料中超痕量污染物分析:

 

固體:Si;GaAa單晶切片;石英、碳化硅等爐材料;高純金屬電極等

 

Agilent ICP-MS可直接分析有機樣品:

 

Agilent ICP-MS的高效能、高功率屏蔽矩冷等離子體技術已被用于測定一系列有機樣品的ppt級痕量污染元素。

 

對其中一些樣品,其他方法無法獲到滿意的結果,高功率屏蔽矩冷等離子體技術是種分析方法。

 

強堿性清洗劑——四甲基氫氧化氨(TMAH)等

 

高基體樣品——光刻膠、液晶、BPSG、PSG等揮發性*的清洗劑

安捷倫二手ICP-ms進樣系統

標配的進樣系統一般是一個霧化器和霧室,蠕動泵作為進樣動力,這兩個廠家的進樣系統也都有自己的設計。

PE ELAN DRC-e標配的進樣系統是強耐腐蝕的正交霧化器和Ryton霧室,優點是耐高濃度的HF、堿、王水和有機溶劑,缺點是霧化效率低,靈敏度相對要低。

Agilent 7500標配為Peltier冷卻的石英微同心霧化器和石英筒形Scott霧室,并且在進樣器上增加了HMI設計,這些進樣器的優點是霧化效率高,冷卻霧化能降低多原子干擾離子的生成,減少取樣量的同時滿足普通進樣的耐高鹽,缺點是不耐氫fu酸。

進樣系統都可拆換,兩家公司也配備了多種類型的進樣裝置工客戶更換。

 

 離子源:

ICP的裝置主要是由中心噴射管,矩管和射頻發生器(RF線圈)組成。PE ELAN DRC-e和Agilent 7500的中心噴射管和矩管都可根據用戶的實際需要更換為耐HF酸的或不耐HF酸的。至于RF線圈,PE采用 40.68 MHz激發頻率,Agilent是固態數控27.12 MHz激發頻率。

這里要提一下,PE的炬管拆裝都比較麻煩,XY 軸還是旋鈕手動調節,而Agilent的設計是接頭插拔,炬管拆裝比較容易,炬管的位置都可以通過馬達自動定位。

 

接口:

樣品通過進樣系統送入等離子體,然后以霧化的電離狀態到了接口部分,也就是錐。這兩款都是雙錐設計(采樣錐和截取錐),標配的都是鎳錐。兩家公司也都能提供鉑錐,鉑錐比鎳錐更耐腐蝕,更經用,本底更小,當然更貴。兩家公司錐的不同是錐孔大小的設計。PE的采樣錐和截取錐的孔徑分別為1.1 mm和0.9 mm,而Agilent的則分別為1.0 mm和0.4 mm。我們可以看出兩家的采樣錐的孔徑是差不多的,截取錐則大不相同。當然,錐大小各有利弊,但我傾向于錐孔小顯然容易鹽分沉積,沉積后對錐孔附近的進樣環境、二次電離等都有較大的影響。

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