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　　測定超痕量元素和同位素比值的儀器。由等離子體發生器，霧化室，炬管，四極質譜儀和一個快速通道電子倍增管(稱為離子探測器或收集器)組成。

　　耶拿電感耦合等離子體質譜儀ICP-MS其工作原理是:霧化器將溶液樣品送入等離子體光源，在高溫下汽化,解離出離子化氣體,通過銅或鎳取樣錐收集的離子,在低真空約133.322帕壓力下形成分子束,再通過1~2毫米直徑的截取板進入四極質譜分析器，經濾質器質量分離后，到達離子探測器，根據探測器的計數與濃度的比例關系,可測出元素的含量或同位素比值。

　　其優點是:具有很低的檢出限(達ng/ml或更低)，基體效應小,譜線簡單，能同時測定許多元素，動態線性范圍寬及能快速測定同位素比值。地質學中用于測定巖石、礦石、礦物、包裹體，地下水中微量、痕量和超痕量的金屬元素，某些鹵素元素、非金屬元素及元素的同位素比值。

　　等離子體

　　等離子體又叫做電漿，是由部分電子被剝奪后的原子及原子被電離后產生的正負電子組成的離子化氣體狀物質，它廣泛存在于宇宙中，常被視為是除去固、液、氣外，物質存在的第四態。等離子體是一種很好的導電體，利用經過巧妙設計的磁場可以捕捉、移動和加速等離子體。等離子體物理的發展為材料、能源、信息、環境空間，空間物理，地球物理等科學的進一步發展提新的技術和工藝。

　　電感耦合

　　電感耦合是指一種雷電與電纜之間的電磁感效應。

　　耦合亦稱“交連”。耦合現象就是兩個或兩個以上電路構成一個網絡時，其中某一電路的電流或電壓發生變化，影響其他電路發生相應變化的現象。也就是說，通過耦合的作用，將某一電路的能量(或信息)傳輸到其他電路中去。在電子放大電路中，級間的交連都是依靠耦合電路來實現的。實現耦合的條件是，電路間必須有公共阻抗存在。